КРЕМНИЯ ТЕТРАФТОРИД
- Производитель
- Технические газы
Синонимы: Silicon tetrafluoride, тетрафторсилан
ПРИМЕНЕНИЕ
Тетрафторид кремния используется в микроэлектронике для ионной имплантации и совместно с силаном для плазменного осаждения фторированного кремния.
СПЕЦИФИКАЦИЯ
Марка |
5.0 |
---|---|
Содержание основного вещества, не менее |
99,999% |
Примеси: | |
O2 + Ar |
< 1 ppm |
N2 |
< 3 ppm |
CO |
< 0,5 ppm |
CO2 |
< 1 ppm |
CH4 |
< 10 ppm |
As |
< 0,5 ppm |
B |
< 0,5 ppm |
P |
< 0,5 ppm |
ХАРАКТЕРИСТИКИ
Общая характиристика |
| ||
Молекулярная масса |
104,07911 г/моль |
CAS № |
7783-61-1 |
|
|
№ ООН |
UN1859 |
Температура кипения |
-95,2° C |
КЭМ |
|
Температура плавления |
-86,8 C при 2,24 бар |
Класс опасности груза (по ДОПОГ 2015) |
2.3 + 8 |
Критическая температура |
-14,2 C |
Знаки опасности |
|
Критическое давление |
3,715 МПа |
УПАКОВКА
Объем, дм3 |
Размер ⌀D×H, см |
Вес баллона, кг |
Максимальное заполнение, кг |
---|---|---|---|
10 |
⌀14×82 |
14 |
4-8 |
40 (импортный) |
⌀23×128 |
39 |
16-32 |
40 (РФ) |
⌀22×128 |
65 |
16-32 |
50 |
⌀23,5×147 |
57 |
20-40 |
Вентиль мембранный из нержавеющей стали, подсоединение DIN 8 (G3/4) или DIN 6 (СП 21,8 14 нит/дюйм), другие по запросу.
- Полное описание
- Комментарии