ХЛАДОН 318C (ОКТОФТОРЦИКЛОБУТАН)
- Производитель
- Технические газы
Синонимы: Octafluorocyclobutane, RC318, R318C, Perfluorocyclobutane, октофторциклобутан, перфторциклобутан, хладон 318Ц
ПРИМЕНЕНИЕ
Используется в микроэлектронике для плазменного травления пленок кремния и диоксида кремния.
СПЕЦИФИКАЦИЯ
|
Марка |
3.0 |
5.0 |
|---|---|---|
|
Содержание основного вещества, не менее |
99,9% |
99,999% |
|
Примеси: | ||
|
Примеси, определяемые хроматографическим методом |
< 0,1 % |
- |
|
Органические примеси |
- |
< 10 ppm |
|
N2 |
- |
< 5 ppm |
|
O2 |
- |
< 2 ppm |
|
H2O |
- |
< 3 ppm |
|
Кислотность по HF |
- |
< 1 ppm |
ХАРАКТЕРИСТИКИ
|
Общая характиристика |
Газ без цвета и запаха. Нетоксичен. | ||
|
Молекулярная масса |
200,03003 г/моль |
CAS № |
115-25-3 |
|
Давление паров при 20° С |
1,7 бар |
№ ООН |
UN1976 |
|
Температура кипения |
-5,99 C |
КЭМ |
|
|
Температура плавления |
-41,4 C |
Класс опасности груза (по ДОПОГ 2015) |
2.2 |
|
Критическая температура |
115,22 C |
Знаки опасности |
|
|
Критическое давление |
2,777 МПа | ||
УПАКОВКА
|
Объем, дм3 |
Размер ⌀D×H, см |
Вес баллона, кг |
Максимальное заполнение, кг |
|---|---|---|---|
|
10 |
⌀14×82 |
14 |
9,4 |
|
20 |
⌀18×104 |
24 |
18,8 |
|
40 (импортный) |
⌀23×128 |
39 |
37,6 |
|
40 (РФ) |
⌀22×128 |
65 |
37,6 |
|
50 |
⌀23,5×147 |
57 |
47 |
Вентиль мембранный латунный, подсоединение DIN 9 (G3/4) или DIN 6 (СП 21,8 14 нит/дюйм), другие по запросу.
- Полное описание
- Комментарии