ХЛАДОН-23 (ТРИФТОРМЕТАН)
- Производитель
- Технические газы
СИНОНИМЫ
Трифторметан, trifluoromethane, carbon trifluoride; fluoroform; freon 23; Halocarbon 23; R-23; R23
ПРИМЕНЕНИЕ
Хладон 23 используется в качестве реагента для сухого травления при изготовлении интегральных микросхем.
СПЕЦИФИКАЦИЯ
|
МАРКА |
2.8 | 5.0 |
|---|---|---|
|
Содержание основного вещества, не менее |
99,8 % | 99,999% |
|
Примеси: | ||
|
Дифторхлорметана и трифторхлорметана в сумме |
< 0,2 % | - |
|
Вода |
< 0,002 % | < 5 ppm |
| Азот | - | < 10 ppm |
| Кислород | - | < 5 ppm |
| Диоксид углерода | - | < 2 ppm |
| Общие углеводороды по метану | - | < 1 ppm |
| Другие галогенуглеводороды | - | < 5 ppm |
| Кислотность по HF | - | < 0,1 ppm |
| Стандарт/ТУ | ТУ 6-02-1321-85 изм.1, 2, 3, 4 | |
ХАРАКТЕРИСТИКИ
|
Общая характеристика |
без цвета и запаха, негорюч, невзрывоопасен, малотоксичен | |||
|
Молекулярная масса |
70,01 г/моль |
CAS № |
75-46-7 | |
|
Давление паров при 20° С | 4,38 МПа |
№ ООН |
UN1984 | |
|
Температура кипения |
- 82,2 C |
КЭМ |
23 | |
|
Температура плавления |
- 155,15 C |
Класс опасности груза (по ДОПОГ 2015) |
2.2 | |
|
Критическая температура |
25,85 C |
Знаки опасности |
| |
|
Критическое давление |
4,82 МПа | |||
УПАКОВКА
Стандартное наполнение – 40-литровый баллон (20 кг). Возможно наполнение баллонов другого объема.
- Полное описание
- Комментарии