ТРЕХХЛОРИСТЫЙ БОР
- Производитель
- Технические газы
Треххлористый бор используется для плазменно-химического травления слоев на основе алюминия при производстве кремниевых интегральных схем
МАРКА |
3.0 |
4.5 |
5.0 |
Содержание основного вещества, не менее |
99,9% |
99,995% |
99,999 % |
Примеси: | |||
Хлористый метил (CH3Cl), не более |
|
2 ppm |
2 ppm |
Хлористый метилен (CH2Cl2), не более |
|
2 ppm |
2 ppm |
Хлор (Cl2), не более |
100 ppm |
10 ppm |
1 ppm |
Фосген (COCl2), не более |
50 ppm |
10 ppm |
0,5 ppm |
Четыреххлористый кремний (SiCl4), не более |
50 ppm |
3 ppm |
3 ppm |
Металлы, в т.ч. |
|
|
|
Fe, не более |
|
0,1 ppm |
0,1 ppm |
Cu, не более |
|
0,01 ppm |
0,01 ppm |
Ni, не более |
|
0,02 ppm |
0,02 ppm |
Cr, не более |
|
0,02 ppm |
0,02 ppm |
Mn, не более |
|
0,01 ppm |
0,01 ppm |
Co, не более |
|
0,01 ppm |
0,01 ppm |
Mg, не более |
|
0,02 ppm |
0,02 ppm |
Al, не более |
|
0,03 ppm |
0,03 ppm |
Ca, не более |
|
0,02 ppm |
0,02 ppm |
Zn, не более |
|
0,03 ppm |
0,03 ppm |
Cd, не более |
|
0,01 ppm |
0,01 ppm |
Sn, не более |
|
0,02 ppm |
0,02 ppm |
Pb, не более |
|
0,02 ppm |
0,02 ppm |
Sb, не более |
|
0,01 ppm |
0,01 ppm |
Bi, не более |
|
0,01 ppm |
0,01 ppm |
Mo, не более |
|
0,01 ppm |
0,01 ppm |
Продукция соответствует ТУ 1-00-07526811-31-93
ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА:
бесцветный, негорючий, токсичный, коррозийный газ
Молярная масса |
117,3 |
CAS № |
10294-34-5 | |
|
№ ООН |
1741 | ||
Температура кипения |
12 °C |
КЭМ |
345 КЭ | |
Температура плавления |
- 107 C |
Класс опасности груза (по ГОСТу 19433-88) |
2.3 | |
Критическая температура |
178,8 C |
Знаки опасности |
| |
Критическое давление |
3,87 МПа |
УПАКОВКА:
стандартное наполнение – 10-литровый баллон (10 кг). Возможно наполнение баллонов другого объема.
ТРАНСПОРТИРОВКА:
в соответствии с Правилами перевозки опасных грузов, а также с Правилами устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением
- Полное описание
- Комментарии