ПРИМЕНЕНИЕ
Дихлорсилан используется в технологии получения эпитаксиальных структур, поликристаллического кремния, двуокиси кремния, нитрида кремния.

СПЕЦИФИКАЦИЯ
У нас можно купить дихлорсилан следующего качества
Марка

50

120

Содержание основного вещества, не менее

97,2 %

98,0 %

Трихлорсилан и монохлорсилан, не более

2,4 %

1,6 %

Тетрахлорид кремния, не более

0,4 %

0,4 %

Металлы, менее

0,01 ppm

0,01 ppm

Удельное электрическое сопротивление

> 50 Ом см

> 120 Ом см

Продукция соответствует ТУ 2435-002-16422443-2000 с изм. 1



ХАРАКТЕРИСТИКИ
Характеристики дихлорсилана
Общая характеристика

Бесцветный, взрыво- и пожароопасный, высокотоксичный газ с резким специфическим запахом.

Молекулярная масса

101,01 г/моль

CAS №

4109-96-0

Давление пара при 20 C

    
№ ООН

UN2189

Температура кипения

8,3 C

КЭМ

15К

Температура плавления

- 122 C

Класс опасности груза
(по ДОПОГ 2015)

2.3 + 2.1 + 8

Критическая температура

176 C

Знаки опасности







Критическое давление

0,46 МПа



УПАКОВКА
Стандартное наполнение 40-литровый баллон (30 кг). Возможно наполнение баллонов другого объема.



ТРАНСПОРТИРОВКА
В соответствии с ДОПОГ, а также ТР ТС 032 'О безопасности оборудования, работающего под избыточным давлением'



РЕКОМЕНДУЕМЫЙ РЕДУКТОР
Не требуется.



ГАРАНТИЙНЫЙ СРОК ХРАНЕНИЯ
12 месяцев.