ПРИМЕНЕНИЕ
Трихлорсилан используется в производстве поликристаллического, полупроводникового кремния, эпитаксиальных кремниевых структур, а также кремнийорганических соединений.

СПЕЦИФИКАЦИЯ
У нас можно купить трихлорсилан следующего качества
Трихлорсилан

> 99,995%

Тетрахлорид кремния

< 15 ppm

Дихлорсилан

< 15 ppm

Углеводороды С1-С4

< 0,1 ppm

Cu, Ni, Cr, Mn, Mg, Co, Al, Ca, Zn, Cd, Sn, Pb, Sb, Bi, Mo

< 1 ppb

(для каждого)

Электрическое сопротивление эпитаксиальных пленок    
> 2000 Омсм



ХАРАКТЕРИСТИКИ
Характеристики трихлорсилана
Общая характеристика

Бесцветная прозрачная дымящая на воздухе, горючая, коррозионная, высокотоксичная жидкость с резким удушливым запахом. Бурно взаимодействует с водой с выделением водорода и хлористого водорода.

Молекулярная масса

135.45 г/моль

CAS №

10025-78-2

Давление паров при 20 C

0,7 бар изб.

№ ООН

UN1295

Температура плавления

- 126,6 C

КЭМ



Температура кипения

31,8 C

Класс опасности груза
(ДОПОГ 2015)

4.3

Критическая температура

206 C

Знаки опасности



Символ (пламя): черный; фон: красный; цифра '3' в нижнем углуСимвол (пламя): белый; фон: красный; цифра '3' в нижнем углу

Символ (жидкости, выливающиеся из двух пробирок и поражающие руку или металл): черный; фон: верхняя половина белая, нижняя - черная с белой каймой; цифра '8' в нижнем углу

Критическое давление

4,17 МПа



УПАКОВКА
Контейнеры из нержавеющей стали, оборудованные кранами для паровой и жидкой фазы.

Стандартные контейнеры под трихлорсилан
Объем контейнера, дм3

Максимальная загрузка трихлорсилана, кг

22,4

27

240

289